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当前，微电子技术已经成为促进经济发展、推动社会进步的关键基础技术，武汉市政府在2019年11月发布的关于推进重点产业高质量发展的文件中，将微电子产业定位为重点产业，提出到2022年，掌握一批具有自主知识产权的关键核心技术，部分领域达到世界领先水平，形成核心竞争力。
通过对微电子学科领域的界定，可检索出SCI/SSCI/A&HCI 三大数据库2015-2020年全球微电子领域文献23409篇（检索日期：2020年9月1日）。其中，论文涉及最多的前10个研究方向为：工程学、物理学、材料科学、化学、光学、仪器仪表、计算机科学、电信、生物化学与分子生物学、神经科学，详见表1。
表1 2015-2020全球微电子学科领域发文最多的前10个研究方向
排名 |
研究方向 |
论文数 |
占比（%） |
1 |
ENGINEERING |
10533 |
44.833 |
2 |
PHYSICS |
5855 |
24.921 |
3 |
MATERIALS SCIENCE |
4560 |
19.409 |
4 |
CHEMISTRY |
4005 |
17.047 |
5 |
OPTICS |
2411 |
10.262 |
6 |
INSTRUMENTS INSTRUMENTATION |
2401 |
10.22 |
7 |
COMPUTER SCIENCE |
2139 |
9.104 |
8 |
TELECOMMUNICATIONS |
1310 |
5.576 |
9 |
BIOCHEMISTRY MOLECULAR BIOLOGY |
701 |
2.984 |
10 |
NEUROSCIENCES NEUROLOGY |
662 |
2.818 |
从全球范围来看，中国（共5695篇，高被引61篇，热点4篇）和美国（共5547篇，高被引83篇，热点3篇）在该领域研究水平相近，且明显领先于其他国家，两国的发文总量接近全球50%。中国在发文量方面略高于美国；而美国的高被引文献比中国多出36%。除中美两国外，欧洲国家中的法国、德国，以及印度、新加坡等国家，也在该领域存在世界一流水平的研究机构。
发文期刊方面，有2623种学术期刊发表了相关文章，表2为发文量最多的前10期刊列表。
表2 2015-2020微电子领域发文量排名前10期刊
排名 |
学术期刊名称 |
发文量 |
占比（%） |
1 |
SENSORS |
401 |
1.706 |
2 |
IEEE ACCESS |
339 |
1.442 |
3 |
SCIENTIFIC REPORTS |
335 |
1.425 |
4 |
ELECTRONICS LETTERS |
306 |
1.302 |
5 |
OPTICS EXPRESS |
298 |
1.268 |
6 |
IEEE TRANSACTIONS ON MICROWAVE THEORY AND TECHNIQUES |
256 |
1.089 |
7 |
IEEE TRANSACTIONS ON VERY LARGE SCALE INTEGRATION VLSI SYSTEMS |
240 |
1.021 |
8 |
IEEE SENSORS JOURNAL |
232 |
0.987 |
9 |
JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY |
230 |
0.979 |
10 |
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES |
219 |
0.932 |
利用爱思唯尔公司的研究表现分析工具SciVal，可从研究内容的角度确定出全球微电子学科相关主题627个（2015-2019）。表3为最热门的前50个研究主题，可以看出，器件、封装及其所用材料，微电子相关应用（如智能家居、农业、医疗等），以及微能源等内容，是全球关注的焦点。
表3 全球/中国微电子学科领域研究主题top50
排名 |
研究主题 |
研究主题中文 |
文章数量 |
显著度百分比 |
1 |
Silicon Photonic; Light Modulator; Optical Interconnect |
硅光子晶体；光调制器；光互连 |
2311 |
98.989 |
2 |
Smart Home; Rubu; Household Equipment |
智能家居；Rubu；家用设备 |
2667 |
98.329 |
3 |
Microbial Corrosion; Sulphate-Reducing Bacteria; Carbon Steel |
微生物腐蚀；硫酸盐还原菌；碳钢 |
834 |
97.207 |
4 |
Solar Collector; Tracking System; Tilt |
太阳能集热器；跟踪系统；倾斜 |
1144 |
96.845 |
5 |
Irrigation (agriculture); Automatic Irrigation System; Sprinkler |
灌溉（农业）；自动灌溉系统；洒水器 |
904 |
96.228 |
6 |
Silicon Photonic; Coupler; Grating |
硅光子；耦合器；光栅 |
892 |
95.709 |
7 |
Network On Chip; Fault-Tolerant Routing; Virtual Channel |
片上网络；容错路由；虚拟通道 |
2158 |
94.962 |
8 |
Phase Shifter; Phased Array; Variable Gain Amplifier |
移相器；相控阵；可变增益放大器 |
702 |
93.997 |
9 |
Global System For Mobile Communication; Theft; Radio Frequency Identification Device |
全球移动通信系统；射频识别装置 |
1200 |
93.803 |
10 |
Dynamic Random Access Storage; Memory Architecture; Cache |
动态随机存取存储器；存储器结构；高速缓存 |
997 |
93.676 |
11 |
Three Dimensional Integrated Circuit; Warpage; System-In-Package |
三维集成电路；翘曲；封装系统 |
1527 |
93.618 |
12 |
Accelerometer; Micro-Electrical-Mechanical System; Gyroscope |
加速度计；微机电系统；陀螺仪 |
729 |
92.586 |
13 |
Wheelchair; People With Disability; Collision Avoidance |
轮椅；残疾人；防撞 |
851 |
92.482 |
14 |
Photomultiplier; Lutetium Orthosilicate; Scintillator |
光电倍增管；正硅酸镥；闪烁体 |
599 |
92.47 |
15 |
Diaphragm Pumps; Microactuators; Maximum Flow |
隔膜泵.微执行器.最大流量 |
672 |
92.338 |
16 |
Nitric Oxide; Fluorescent Dye; Gasotransmitter |
一氧化氮；荧光染料；气体传递素 |
193 |
92.234 |
17 |
Capillary Electrophoresis; Funnel; Electroosmose |
毛细管电泳；漏斗；电渗透 |
250 |
92.225 |
18 |
Atomic Layer Epitaxy; Ruthenium; Platinum |
原子层外延；钌；铂 |
263 |
92.195 |
19 |
Acid Sensing Ion Channel; Degenerin Sodium Channel; 2-Guanidine-4-Methylquinazoline |
酸敏离子通道；去甲素钠通道；2-胍基-4-甲基喹唑啉 |
375 |
92.058 |
20 |
Wireless Sensor Network; Data Dissemination; Firmware |
无线传感器网络；数据分发；固件 |
519 |
91.925 |
21 |
Low Noise Amplifier; Noise Figure; Amplifier Design |
低噪声放大器；噪声系数；放大器设计 |
842 |
91.74 |
22 |
Ultrasound Transducer; Application Specific Integrated Circuit; Underwater Imaging |
超声换能器；专用集成电路；水下成像 |
648 |
91.384 |
23 |
Micromanipulation; Grippers; Microassembly |
微操作；夹持器；微装配 |
496 |
91.353 |
24 |
Operational Amplifier; Transconductance; Virtuoso |
运算放大器；跨导；演奏家 |
824 |
91.284 |
25 |
Hydrogels; Polyethylene Glycol Dimethacrylate Hydrogel; PH Sensors |
水凝胶；聚乙二醇二甲基丙烯酸酯水凝胶；PH传感器 |
307 |
91.178 |
26 |
Static Random Access Storage; Finfet; Virtuoso |
静态随机存取存储器 |
1047 |
90.786 |
27 |
Janus Green B; Electroplating; Copper Plating |
杰纳斯绿B；电镀；镀铜 |
439 |
90.534 |
28 |
Interconnect; Carbon Nanotubes; Single Walled Nanotube |
互连；碳纳米管；单壁纳米管 |
551 |
90.455 |
29 |
Microbeams; Primary Resonance; Superharmonics |
微束；主共振；超谐 |
341 |
89.737 |
30 |
Optical Switches; Silicon Photonics; Mach-Zehnder Interferometers |
光开关；硅光子学；马赫-曾德尔干涉仪 |
376 |
89.604 |
31 |
Thermal Management; Three Dimensional Integrated Circuits; Network on Chip |
热管理；三维集成电路；片上网络 |
761 |
89.601 |
32 |
Microchip Electrophoresis; Conductivity; Electroosmosis |
微芯片电泳；电导率；电渗 |
268 |
88.909 |
33 |
Interconnect; Electrical Resistivity; Metallizing |
互连；电阻率；金属化 |
303 |
88.769 |
34 |
High Electron Mobility Transistors; Aluminum Gallium Nitride; Power Amplifiers |
高电子迁移率晶体管；氮化铝镓；功率放大器 |
446 |
88.417 |
35 |
Isotachophoresis; Capillary Electrophoresis; Electrokinetics |
等速电泳；毛细管电泳；电动力学 |
243 |
88.168 |
36 |
Micromirror; MOEMS; Micro-Electrical-Mechanical Systems |
微镜；MOEMS；微机电系统 |
551 |
88.163 |
37 |
Electromigration; Solder Joint; Soldering Alloys |
电迁移；焊点；焊接合金 |
402 |
88.059 |
38 |
Network on Chip; Optical Networks; Routers |
片上网络；光网络；路由器 |
552 |
87.939 |
39 |
Polypyrroles; Artificial Muscle; Conducting Polymers |
聚吡咯；人工肌肉；导电聚合物 |
260 |
87.594 |
40 |
Doherty Amplifiers; Peak-To-Average Power Ratio (PAPR); Monolithic Microwave Integrated Circuits |
多尔蒂放大器.峰值平均功率比（PAPR）.单片微波集成电路 |
503 |
87.569 |
41 |
Asynchronous Generators; Micro-Hydro; Reactive Power |
异步发电机；微水电；无功功率 |
653 |
87.097 |
42 |
Threshold Circuits; SOI (Semiconductor); Voltage Scaling |
阈值电路.SOI（半导体）.电压标度 |
643 |
86.992 |
43 |
Drug Delivery Systems; Implantable Infusion Pumps; Parylene |
药物输送系统；植入式输液泵；帕利灵 |
143 |
86.521 |
44 |
High-Level Synthesis; Field Programmable Gate Array; Compilers |
高级综合；现场可编程门阵列；编译器 |
591 |
86.433 |
45 |
Reconfigurable Systems; Field Programmable Gate Array; Floorplanning |
可重构系统.现场可编程门阵列.平面布置 |
539 |
86.258 |
46 |
Low-K Dielectric; Interconnect; Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition |
低K介质；互连；等离子体增强化学气相沉积 |
377 |
86.104 |
47 |
Capacitive Sensors; Electric Capacitance; Converters |
电容传感器；电容；转换器 |
341 |
85.895 |
48 |
Shape-Memory Alloy; Actuators; Springs (Parts and Components) |
形状记忆合金.执行机构.弹簧（零件和部件） |
358 |
85.614 |
49 |
Analog Circuits; Fault Diagnosis; Testability |
模拟电路；故障诊断；可测试性 |
467 |
85.45 |
50 |
Active Pixel Sensor; CMOS; Silicon-On-Insulator |
有源像素传感器；CMOS；绝缘体硅 |
438 |
85.302 |
截至2020年9月1日，全球微电子学科领域共有ESI热点论文7篇，高被引论文179篇。其中，7篇热点论文同时也是高被引论文。7篇热点论文和11篇2020年发表的高被引论文信息如下：
热点论文
1. Spencer D T, Drake T, Briles T C, et al. An optical-frequency synthesizer using integrated photonics[J]. Nature, 2018, 557(7703):81.
中文标题：集成光子学呼吸式mattersAn光学频率合成器
第一完成单位：国家标准与技术研究所（美国）
全文链接：https://www.nature.com/articles/s41586-018-0065-7
2. Del Negro C A , Funk G D , Feldman J L . Breathing matters[J]. Nature Reviews Neuroence, 2018.
中文标题：呼吸很重要
第一完成单位：威廉与玛丽学院（美国）
全文链接：http://europepmc.org/backend/ptpmcrender.fcgi?accid=PMC6636643&blobtype=pdf
3. Zhang Z , Cui J , Zhang J , et al. Environment friendly chemical mechanical polishing of copper[J]. Applied Surface Science, 2018, 467.
中文标题：铜的环保化学机械抛光
第一完成单位：大连理工大学
全文链接：https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0169433218328897?via%3Dihub
4. Zhang X , Wang C . A Novel Multi-Attractor Period Multi-Scroll Chaotic Integrated Circuit Based on CMOS Wide Adjustable CCCII[J]. IEEE Access, 2019, 7:16336-16350.
中文标题：基于CMOS宽可调CCCII的多吸引子周期多涡卷混沌集成电路
第一完成单位：湖南大学
全文链接：https://ieeexplore.ieee.org/document/8625578
5. Zhang X , Wang C . FluxCharge Analysis of Two-Memristor-Based Chua < sc > s </sc> Circuit: Dimensionality Decreasing Model for Detecting Extreme Multistability [J]. IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS, 2020, 67（3）:2197-2206.
中文标题：基于双记忆阻器的Chua<sc>s</sc>电路的流量分析：检测极端多稳态的降维模型
第一完成单位：常州大学信息科学与工程学院
全文链接：https://ieeexplore.ieee.org/document/8678662
6. Yuan Y , Wang J , Adimi S , et al. Zirconium nitride catalysts surpass platinum for oxygen reduction[J]. Nature Materials, 2020, 19(3):1-5.
中文标题：氮化锆催化剂在氧还原方面优于铂
第一完成单位：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
全文链接：https://www.nature.com/articles/s41563-019-0535-9
7. Tran M A , Huang D , Guo J , et al. Ring-Resonator Based Widely-Tunable Narrow-Linewidth Si/InP Integrated Lasers[J]. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, 2019, PP(99):1-1.
中文标题：基于环形谐振腔的宽调谐窄线宽Si/InP集成激光器
第一完成单位：加州大学系统加州大学圣巴巴拉分校（美国）
全文链接：https://ieeexplore.ieee.org/ielx7/2944/8764695/08805353.pdf
高被引论文
1.Cao M S , Wang X X , Zhang M , et al. Variable-Temperature Electron Transport and Dipole Polarization Turning Flexible Multifunctional Microsensor beyond Electrical and Optical Energy[J]. Advanced Materials, 2020, 32(10):1907156.1-1907156.8.
中文标题：可变温电子运输和偶极极化超电能光能柔性多功能微传感器
第一完成单位：北京理工大学
全文链接：https://onlinelibrary.wiley.com/doi/full/10.1002/adma.201907156
2. Ebrahimi F , Hashemabadi D , Habibi M , et al. Thermal buckling and forced vibration characteristics of a porous GNP reinforced nanocomposite cylindrical shell[J]. Microsystem Technologies, 2019(1).
中文标题：多孔GNP增强纳米复合材料圆柱壳的热屈曲和强迫振动特性
第一完成单位：伊玛目霍梅尼国际大学（伊朗）
全文链接：https://link.springer.com/article/10.1007/s00542-019-04542-9
3. Shokrgozar A , Ghabussi A , Ebrahimi F , et al. Viscoelastic dynamics and static responses of a graphene nanoplatelets-reinforced composite cylindrical micro-shell[J]. Mechanics Based Design of Structures and Machines, 2020(2).
中文标题：石墨烯纳米板增强复合材料圆柱壳的粘弹性动力学和静态响应
第一完成单位：伊玛目霍梅尼国际大学（伊朗）
全文链接：https://www.tandfonline.com/doi/full/10.1080/15397734.2020.1719509
4. Ono M , Hata M , Tsunekawa M , et al. Ultrafast and energy-efficient all-optical switching with graphene-loaded deep-subwavelength plasmonic waveguides[J]. Nature Photonics, 2020(1).
中文标题：石墨烯负载深亚波长等离子体波导的超快节能全光开关
第一完成单位：日本电报电话公司（日本）
全文链接：https://www.nature.com/articles/s41566-019-0547-7
5. Cao X , Jiang W , Meng B , et al. The Medium Energy (ME) X-ray telescope onboard the Insight-HXMT astronomy satellite[J]. Science China-Physics Mechanics & Astronomy, 2020(2).
中文标题：Insight HXMT天文卫星上的中能（ME）X射线望远镜
第一完成单位：中国科学院高能物理研究所
全文链接：https://link.springer.com/article/10.1007%2Fs11433-019-1506-1
6. Iqbal A , Bhaskar M S , Meraj M , et al. Closed-Loop Control and Boundary for CCM and DCM of Nonisolated Inverting N Multilevel Boost Converter for High-Voltage Step-Up Applications [J]. IEEE Transactions On Industrial Electronics, 2020(4).
中文标题：高压升压用非隔离逆变N电平Boost变换器CCM和DCM的闭环控制与边界
第一完成单位：卡塔尔大学（卡塔尔）
全文链接：https://ieeexplore.ieee.org/document/8701612
7. Hua Z , Zhou Y , Bao B . Two-Dimensional Sine Chaotification System With Hardware Implementation[J]. IEEE Transactions on Industrial Informatics, 2020, 16(2):887-897.
中文标题：二维正弦混沌系统及其硬件实现
第一完成单位：哈尔滨工业大学
全文链接：https://ieeexplore.ieee.org/ielx7/9424/8963774/08738838.pdf
8. Gong L, Xu Y , Ding B . Thermal management and structural parameters optimization of MCM-BGA 3D package model [J]. International Journal of Thermal Sciences, 2020 (1).
中文标题：MCM-BGA三维封装模型的热管理与结构参数优化
第一完成单位：中国石油大学（华东）
全文链接：https://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S1290072919300341
9. Grillner S , Manira A E . Current Principles of Motor Control, with Special Reference to Vertebrate Locomotion[J]. Physiological Reviews, 2020, 100(1).
中文标题：现代运动控制原理，特别是脊椎动物的运动
第一完成单位：卡罗林斯卡学院（瑞典）
全文链接：https://journals.physiology.org/doi/pdf/10.1152/physrev.00015.2019
10. Tang K , Yuan C, Xiong Y, et al . Inverse-opal-structured hybrids of N, S-codoped-carbon-confined Co9S8 nanoparticles as bifunctional oxygen electrocatalyst for on-chip all-solid-state rechargeable Zn-air batteries [J]. Applied Catalysis B-Environmental, 2020, 260(1).
中文标题：N，S-共掺杂碳约束Co9S8纳米颗粒反蛋白石结构双功能氧电催化剂在片上全固态可充电锌空气电池中的应用
第一完成单位：安徽大学
全文链接：https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0926337319309567?via%3Dihub
11. Wang L, Liu X, Liu C, et al . Ultralow dielectric constant polyarylene ether nitrile foam with excellent mechanical properties [J]. Chemical Engineering Journal 2020, 384(3).
中文标题：超低介电常数聚芳醚腈泡沫塑料具有优良的力学性能
第一完成单位：电子科技大学（成都）
全文链接：https://linkinghub.elsevier.com/retrieve/pii/S1385894719326439
如需获取完整相关文献信息，可参考以下检索式：
"micro electronic circuits" or "micro-electronics" or "microelectronics" or "micro electronic circuit" or "micro-electronic" or "microelectronic" or "integrated circuit" or "integrated semiconductor" or "microcircuit" or "microchip" or "integrated circuits" or "integrated semiconductors" or "microcircuits" or "microchips" or “microsystem” or “microsystems” or "microsensor" or "microsensors" or "micro controller" or "micro controllers" or "microcontroller" or "microcontrollers" or "micro actuator" or "micro actuators" or "micro energy" or "microenergy"
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（编辑：江珊 审核：刘霞）
